真空関連

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LA240
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超高真空窓TF型

【高精度】
●窓材に熱歪みがありませんので透過光 (レーザー) に偏光・歪み・散乱の無い窓材本来の透過が得られます。
●高面精度 (特殊仕様) も製作可。勿論、真空引き状態で精度維持可能構造。但し、窓材種やフランジサイズにより制限される場合があります。(有効径全域でλ/10の実績があります)

【高性能】
●ARコート:有効径全域で、むらや濃淡の無い全面均一コートです。
●高蒸気圧金属のZnを含んだロー接剤を不使用の為、Znの昇華によて真空容器内を汚染したり、窓面が曇ることがありません。

【高機能】
●強磁性金属・強放射化金属のコバール金属不使用の為、磁場及び放射線環境で最適使用可。
●耐圧構造:内圧が上昇してもリークが発生したり窓材が外れることがありません。標準品は差圧1気圧迄ですが、高圧型も製作可。

【検査成績書及び保証書提出】
その他:ウェッジ付 (大気面のみ) ・凹凸レンズ付・両側エッジ付 (～114型迄) ・特殊フランジ等。
窓材種:CaF2・BaF2・MgF2・ZnSe・Ge・Si・LiF・合成石英・結晶水晶・サファイア・BK7・KRS-5・テンパックス・鉛ガラス等々。


極高真空窓VX型

【超大有効径】
●φ440mm以上も可。逆圧使用可。しかもベーク可。但し、場合により強制冷却構造にすることがあります。窓材再研磨、交換 (弊社実施) 可。ランニングコストが大幅安価となります。

【アウトガス極少】
●超高真空領域までの立ち上げが短時間で可。

【高精度】
●窓材に熱歪みがありませんので透過光 (レーザー) に偏光・ゆがみ・散乱の無い窓材本来の透過が得られます。
●高面精度 (特殊仕様) も製作可。勿論、真空引き状態で精度維持可能構造。但し、窓材種や有効径により制限される場合があります。(有効径全域でλ/10の実績があります。λ/20も可能構造です。)

【高性能】
●ARコート:有効径全域で、むらや濃淡の無い全面均一コートです。
●高蒸気圧金属のZnを多量に含んだロー接剤を不使用の為、Znの昇華によて真空容器内を汚染したり、窓面が曇ることがありません。

【高機能】
●強磁性金属・強放射化金属のコバール金属不使用の為、磁場及び放射線環境で最適使用可。
●耐圧構造:内圧が上昇してもリークが発生したり窓材が外れることがありません。

【耐衝撃性】
●XYZ/15G/3000cycle 、合格 (日本原子力研究所の試験結果)

【検査成績書及び保証書提出】
その他:両面ウェッジ付・凹凸レンズ付・両側エッジ付・特殊フランジ等々。
窓材種:制限される場合があります。

CaF2仕様
BaF2仕様
MgF2仕様
SiO2仕様
ZnSe仕様

特注システムにも対応します。
真空フィードスルー


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超高真空窓TF型　- 仕様

フランジ材質　標準:SUS304L / 特注:SUS316L及びTi等

型名
D
T
A
窓材t
≒レングス
TF 34
34
10.0
12
1.5
3.0
TFW 34
34
13.5
12
1.5
7.2
TFH 34
34
13.0
12
6.0
3.0
TF 70
70
12.7
33
3.0
4.0
TFW 70
70
18.5
33
3.0
9.0
TFH 70
70
21.7
33
12.0
4.0
TF 114
114
17.5
60
4.0
6.0
TFW 114
114
21.5
60
4.0
9.0
TFH 114
114
33.5
60
20.0
6.0
TF 152
152
20.0
100
5.5
7.0
TFH 152
152
44.5
100
30.0
7.0
TF 203
203
22.0
140
8.0
8.0

●W付記は両エッジ型を示す。
●H付記は超高面精度型を示す。
●「レングス」とは大気側フランジ面から窓面までの寸法とします。
●Heリーク量<1×10-10Pa㎥/sec(実績として=0.1×10-10Pa㎥/sec)ベーク<200℃　
但し、窓材種・フランジ寸法等により異なる場合があります。
●製品の定格及び仕様は改善のため、予告なく変更することがあります。


真空関連

極高真空窓VX型　- 仕様

フランジ材質　標準:SUS304L　/　特注:SUS316L及びTi等

型名
D
A
VX 114
114
(48)
VX 152
152
(74)
VX 203
203
(100)
VX 253
253
(160)
VX 305
305
(200)
VX 356
356
(220)
VX 406
406
(250)
VX 506
506
(350)
VX 606
606
(440)

●Heリーク量<1×10-10Pa㎥/sec(実績として<2.0×-12Pa㎥/sec)ベーク<200℃
●但し、窓材種・フランジ寸法等により異なる場合があります。
●備考:有効径・窓厚さ及びフランジ厚さ等は御打ち合わせにて決定。
●製品の定格及び仕様は改善のため、予告なく変更することがあります。


真空関連

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